| 设为主页 | 保存桌面 | 手机版 | 二维码
普通会员

肇庆市振华真空机械有限公司

新闻分类
  • 暂无分类
站内搜索
 
友情链接
  • 暂无链接
您当前的位置:首页 » 新闻中心 » 真空镀膜设备维修保养注意事项
新闻中心
真空镀膜设备维修保养注意事项
发布时间:2012-08-06        浏览次数:2194        返回列表

在维修保养真空镀膜设备过程中需要注意的事情:

1.平时,整个系统要保持真空状态,工作前才充入气体,不要是真空室长期暴露在大气中;
2.经常检查胶封是否良好,特别是动密封圈,定期给动密封处加上真空脂;
3.定期检查电气元件,清除灰尘,更换烧坏的元、器件;
4.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门。拆卸的方法是:先将整个真空系统抽至真空状态,注意不要加热扩散泵,用手动打开精抽阀,然后按放气阀按钮让系统充入大气,当真空室充满大气后就可进行拆卸扩散泵和阀门;
5.停旋片泵、滑阀泵时,要注意电磁阀(或气动阀)是否向泵腔充气,否则会引起回油,污染真空管道。因此,电磁阀(或气动阀)充气动作失灵时,必须及时进行修理或更换;
6.对于偏北地区,在寒冷季节,夜间和教长时间停机时,必须用压缩气体将冷却水赶出冷却管道、泵体,以免冻裂冷却水管(套)、泵体;
7.精抽系统要待真空压强达到3Pa后才能工作,若在过高的压强下进行抽气,会使扩散泵油氧化,降低抽气能力,缩短泵油的使用寿命;
8.为保证真空镀膜设备有清洁的工作环境,滑阀泵排出的气体必须用管道将它排出工作房之外,因为从滑阀泵排出的气体含有很多微小的有雾。若不把它排出工作房,则在装被镀的工件时,尽管工件表面经过认真的清洁处理,仍然很快就会被微小的油雾所污染,严重影响膜层的质量;
9.在工作过程中不得断水,采用的冷却水必须清洁,不得使用硬水或浊水作为冷却水,否则会使冷却水管沉积一层水垢,影响冷却效果。
10.在工件架旋转时500MM内严禁站人,待停止后方可靠近!!!