旋转涂胶机 SPIN150x- 150 毫米
我们的POLOS? 150毫米单片旋转涂胶机有NPP或PTFE材质可供选择。这些高质量的旋转涂胶机专为MEMS、半导体、生命科学、光伏、微流控等领域的研究和小批量生产设计。适用于所有典型的旋转过程：清洗、冲洗/干燥、涂胶、显影、玻璃载片和蚀刻。
SPIN150x 离心涂覆机 - 标准款 - 台式机型号
独特的外壳和排水设计，可在现场切换台式和内置型号
方便的腔室访问
电机归位定位
液体过滤陷阱
用户安全用的盖子锁和真空传感器
产品描述
您现在可以订购我们改进和创新设计的POLOS? SPIN150x型号。POLOS? SPIN150x提供了精确、可重复的过程控制。它由天然聚丙烯 (NPP) 或化学耐受性PTFE制成。这个经过验证的型号的标准版和高级版版本。它非常适合处理直径达150毫米或尺寸为100 x 100毫米的圆形基板或方形样品。
独特设计
独特的外壳和排水设计允许在桌面式和内置式之间轻松切换。模块化设计使用户能够使用各种不同的配件升级设备，以简化分装和整体操作。
独特设计
独特的外壳和排水设计允许在桌面式和内置式之间轻松切换。模块化设计使用户能够使用各种不同的配件升级设备，以简化分装和整体操作。
电机归位位置
SPINx系列具有定义电机归位位置的能力，便于在机器人控制/自动化环境中轻松集成。
方便的腔室访问
真空夹具放置在碗的边缘之上，允许使用末端执行器、镊子或真空棒轻松接触晶圆/基板。这是实现机器人处理的独特要求。
液体过滤陷阱
SPINx系列配备了液体过滤陷阱，以保护我们的旋转涂胶机的关键部件，如驱动单元、真空阀、真空传感器和ServoBL控制器。液体过滤陷阱会捕捉通过过程腔或真空吸盘进入真空管道的任何液体。任何光刻胶或流体将被安全地保存在液体罐/瓶中，可以通过旋转器外壳上的切口进行查看。我们建议所有客户在维护计划中检查液体罐/瓶，并在有液体的情况下清空瓶子。
旋转涂胶机适用于：
涂层
清洁
冲洗/干燥
开发
蚀刻
PDMI和其他过程
规格硬件 SPIN150x:
处理腔材料：天然聚丙烯 (NPP) 或聚四氟乙烯 (PTFE)
最大基片直径：6英寸（150毫米）的晶圆或4英寸 x 4英寸（100毫米）的基片
液体过滤陷阱
自动盖子，也可通过脚踏板控制（高级版）
可编程电机归位位置
中心注射器或分配喷嘴的注射器固定器
用户安全用的盖子锁和真空传感器
大型（可拆卸）触摸屏显示器
USB端口用于将食谱存储在USB驱动器上和进行软件更新的驱动器规格
间接式无刷驱动装置 - 最高转速 12,000 转/分钟
高加速度和精度：1 - 30,000 转/分钟
顺时针/逆时针旋转和水坑模式
独特的设计，可以在桌面模式和内置模式之间切换
免费的主轴和适配器：
4 - 6英寸晶圆的真空夹具
适用于10毫米及更大尺寸碎片的适配器