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用 途:
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+ 增透膜 + 眼镜镀膜 + 光纤光学 + 高反镜 + 热/冷反光镜 + 低漂移滤波器 + 带通滤波器 + 在线清洗 + 类金刚石沉积 |
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作 用:
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+ 改善薄膜的生长、优化薄膜结构
+ 增加镀膜的一致性和重复性 + 低温高速率镀膜 + 清除工件表面水和碳氢化合物 + 增加薄膜密度 + 降低内应力低 + 清除结合力弱的分子 + 反应气体活度增加 + 薄膜成分易于控制 |
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特 点:
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+ 结构先进
+ 工作稳定 + 耐高温环境 + 适用反应气体 + 等离子体束流大 + 均匀性强/能量可调 + 样品悬浮电位显示 + 安装简便/运行成本低 + 维护操作简单 |
技术指标：