一、镀膜技术可区分为那几类?
可区分为：(1)真空蒸镀 (2)电镀 (3)化学反应 (4)热处理 (5)物理或机械处理
二、常用的真空帮浦有那几种?
真空帮浦可分：(1)机械帮浦 (2)扩散帮浦 (3)涡轮帮浦 (4)吸附帮浦 (5)吸着帮浦
真空帮浦抽气范围：
泵浦抽气范围
机 械 泵 浦10-1 ~ 10-4毫巴
扩 散 泵 浦10-3 ~ 10-6毫巴
涡 轮 泵 浦10-3 ~ 10-9毫巴
吸 附 泵 浦10-3 ~ 10-4毫巴
吸 着 泵 浦10-4 ~ 10-10 毫巴
三、电浆技术在表面技术上的应用有那些?
(1)溅浆沉积：溅镀是利用高速的离子撞击固体靶材，使表面分子溅离并射到基材镀成一层薄膜，溅射离子的起始动能约在100eV。常用的电浆气体为氩气，质量适当而且没有化学反应。
(2)电浆辅助化沉积：气相化学沉积的化学反应是在高温基材上进行，如此才能使气体前置物获得足够的能量反应。
(3)电浆聚合：聚合物或塑料薄膜最简单的披覆技术就是将其溶剂中，然后涂布于基板上。电浆聚合涂布法系将分子单体激发成电浆，经化学反应后形成一致密的聚合体并披覆在基板上，由于基材受到电浆的撞击，其附着性也很强。
(4)电浆蚀刻：湿式碱性蚀刻，这是最简单而且便宜的方法，它的缺点是碱性蚀刻具晶面方向性，而且会产生下蚀的问题。
(5)电浆喷覆：在高温下运转的金属组件须要有陶瓷物披覆，以防止高温腐蚀的发生。
四、蒸镀的加热方式包括那几种?各具有何特点?
加热方式分为：(1)电阻加热 (2)感应加热 (3)电子束加热 (4)雷射加热 (5)电弧加热
各具有的特点：
(1)电阻加热：这是一种最简单的加热方法，设备便宜、操作容易是其优点。<B"M} Y>_P
(2)感应加热：加热效率佳，升温快速，并可加热大容量。/8](M5X]f
(3)电子束加热：这种加热方法是把数千eV之高能量电子，经磁场聚焦，直接撞击蒸发物加热，温度可以高达30000C。而它的电子的来源有二：高温金属产生的热电子，另一种电子的来源为中空阴极放电。
(4)雷射加热：激光束可经由光学聚焦在蒸镀源上，产生局部瞬间高温使其逃离。最早使用的是脉冲红宝雷射，而后发展出紫外线准分子雷射。紫外线的优点是每一光子的能量远比红外线高，因此准分子雷射的功率密度甚高，用以加热蒸镀的功能和电子束类似。常被用来披覆成份复杂的化合物，镀膜的品质甚佳。
它和电子束加热或溅射的过程有基本上的差异，准分子雷射脱离的是微细的颗粒，后者则是以分子形式脱离。
(5)电弧加热：阴极电弧沉积的优点为：(1)蒸镀速率快，可达每秒1.0微米
(2)基板不须加热
(3)可镀高温金属及陶瓷化合物
(4)镀膜密高且附着力佳
