概述:
GX系列高真空镀膜机主要应用于MRl6、MRII及其它灯罩类的光学膜镀制。
特点:
1、 立式前开门结构,操作高度依人机工程学原理,减少劳动强度。
2、 工件行星转架,利于膜层的镀制。
3、 采用低反油、高速扩散泵作主泵,有利于真空环境的控制。
4、 占地面积,为客户合理安排车间生产、提供空间选择。
主要配置(Out line specification)
GX-1100 | GX-1200 | GX-1300 | GX-1350 | |
真空室Chamber | φ1100X1100 | φ1200X1500 | φ1300X1200 | φ1350X1250 |
夹具盘jig | φ760X3(option) | φ800X3(option) | φ880X3(option) | φ920X3(option) |
蒸发源Evaporation Source | 电阻加热Resistance heating | |||
光学膜厚控制仪Optical film monitor | 单色仪式膜厚控制仪(选择)Mono color optical monitor(option) | |||
油扩散泵Oil diffusion pump | DBK-630 DBK-800 | DBK-800 | DBK-800 | DBK-800T(option) |
机械增压泵Mechanical booster pump | ZJP-300 | ZJP-600 | ZJP-600 | ZJP-600 |
油旋片式真空泵Oil rotary pump | 2X-70 2X-8 | 2X-70 2X-15 | 2X-70 2X-15 | 2X-70、or.x-100 2X-15 |
真空计Vacuum gauge | 复合真空计(自动压强控制仪、选择) |
所需条件(Utility)
主体外形尺寸Dimensions of body | 4200DX2800W X2500H | 4400DX2850WX2870H | 4500DX2850WX2870H | 4600DX2900WX2870H |
总功率Power required of body | 45KVA | 48KVA | 48KVA | 48KVA |
蒸发功率Power of evaporation source | 7KVAX3 | |||
用水量Cooling water required | ||||
压缩空气压力Compressed air required | 0.4~0.6Mpa | |||
主机总重量Gross weight of body | 约4000kg | 约4800kg | 约5000kg | 约5600kg |
性能(performance)
极限压力 Ultimate pressure | 7X10-4Pa | |
排气时间pump down time | 5X10-2pa/8min | 5X10-2Pa/10min |
蒸发操作Coating operation | 手动Manual |