产品名称:ZSX系列光学真空镀膜机
产品描述:主要用于在玻璃镜片上镀制增透膜、分光膜、带通膜/截止膜、高反膜等各种膜系,能够实现100层膜的超大型膜系镀膜,也能满足在树脂镜片上镀制各种颜色的增透膜,及在玻璃、亚克力、水晶等材质上镀制红、黄、蓝、绿、干邑、七彩等颜色的反光膜、装饰膜。
产品详情说明:
主要特点:
1.配置超大坩埚电子枪,整个蒸发过程中膜料表面平整,蒸发分布均匀;
2.配置石英晶体膜厚控制仪可实现成膜速度和镀膜过程的自动控制;
3.配置大功率离子源,膜厚质量好;
4.总体结构设计合理,更符合工艺要求,真空系统采用无油系统,可保证整个系统在无油状态下工作;
5.真空操作系统实现互锁保护,断水、断电报警功能。
6.采用触摸屏和PLC自动控制,实现对整机主要部件的参数化设置、实时运行监控及故障智能诊断。
主要配置:
1.真空室采用立式前开门箱形结构,全不锈钢箱体,内腔尺寸Φ800mm~Φ1400mm;
2.真空系统采用分子泵,前级泵采用无油真空泵;
3.采用一套水汽低温捕集器作为真空辅助抽气;
4.工件架:行星轮或整体工件盘,可根据客户要求定制;
5.镀膜系统:配1~3套大功率e型磁偏转2700电子枪及多穴位坩埚,辅助镀膜系统配霍尔离子源。
6.烘烤:数显自动控温,温度控制精度±1.5℃
7.膜厚控制:石英晶体膜厚监控系统,可控制电子枪蒸发速率,精确控制膜层厚度,手动和自动控制实现方便切换;光学膜厚监控系统,透射或反射光路,监控波长范围200-900nm。
8.控制系统:真空控制采用工控机及可编程序控制器控制。
技术**能参数:
1.极限真空:≤5×10-4Pa
2.二次恢复时间:从1×105Pa至2×10-3Pa<10min。
3.设备总尺寸4.5×4.5×2.6
4.加热温度:常温至350度