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供应全自动多层光学镀膜机

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品牌: 鼎益真空
型号: GX-8500
单价: 265000.00元/台
起订: 1 台
供货总量: 10 台
发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
所在地: 全国
有效期至: 长期有效
最后更新: 2012-02-14 21:02
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公司基本资料信息






 
 
产品详细说明

多层光学镀膜机适合镀制多种光学膜。如望远镜、眼镜片、光学镜头、冷光杯等,配置不同的蒸发源及膜厚仪可镀多种膜系。对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀,并可在玻璃表面超硬镀膜。

技术参数列表:

型 号

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

镀膜室尺寸

Ф1050×1250304不锈钢。

Ф800×1000

Ф900×1050

Ф1200×1250

镀膜腔内尺寸

工装夹具支架离地1680mm,适合人体工学的操作高度。

工装夹具支架离地1468mm,适合人体工学的操作高度。

工装夹具支架离地1510mm,适合人体工学的操作高度。

1.拱型单工件盘,更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转5-30r/min,无级变速。
2.
拱型三工件盘,行星公自转,更大限度满足客户对生产量的需要。旋转3-35r/min,无级变速。

工装夹具

供型四片装,支架倾角可调,更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转3-35r/min,无级变速。

拱型单工件盘,更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转3-35r/min,无级变速。

拱型单工件盘,更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转3-35r/min,无级变速。

真空系统

机组:扩散泵KT-600(创益),罗茨泵ZJ-300,机械泵2X-70,维持泵2X-8。管路为304不锈钢。

机组:扩散泵KT-600(创益),罗茨泵ZJ-600,机械泵2X-70,维持泵2X-8

机组:扩散泵KT-600(创益),罗茨泵ZJ-600,机械泵2X-70,维持泵2X-8

机组:扩散泵KT-800(创益),罗茨泵ZJ-600,机械泵2X-70,维持泵2X-8

极限真空:优于4×10-4Pa

配置防湍流装置,安全互锁设计,手动,自动可选。

加热系统

发热管上加热方式,PID控制,最高350℃±1.5℃

工作气体充气

气体质量流量控制仪器或手动微调充气阀。

真空电离轰击

直流3KV,06KW棒状阴极(用于镀膜前进行自行对工件清洗)。

蒸发源(选配)


1. TELEMARK-270°
电子枪(进口),6KW、高压4KV-10KV可调。定位扫描、三角波扫描、圆形扫描、螺旋扫描。束斑聚焦性好、定位精度高,扫描再现性好。
2.
国产电子枪(奥普康):6KW、高压4 KV8KV可调,可自由选择三角波、正弦波、方波扫描。
3.
坩埚:六穴Φ38×20坩埚或四穴Φ38×20加一穴中心弧长87的弧形坩埚(用于耗量大低熔点蒸发材料)或四穴Φ48×18坩埚。

离子源(选配)

1. RF(射频型)离子源(进口)。
2. 5KVA
霍尔离子源(奥普康),用于电镀前清洗或电镀过程进行辅助镀,有利于提高膜层折射率,牢固度、提高膜层致密性、附着力。

膜厚控制系统(选型)

1MDC-360晶控器(进口)可储存199层自动镀膜过程,99种程序数据,精度0.5%+1?固定误差。2TELEMARK-880晶控器(进口):可储存199层自动镀膜过程、99种程序数据。精度0.5%+1?固定误差。
3
TELEMARK-820光控器(进口):采用多波长的全光谱终点分析技术,通过对监控片370-870㎜的透射率(或反射率)曲线分析来判定膜层终了。控制精度高,同时也可采用单波长控制、自动控制和手动控制。附加MACILEOD膜系计算软件,一体化程度高。
4
TELEMARK-820光控器配合TELEMARK-880晶控器能满足高精度、高重复性的镀膜要求。与上位机配合可以实现全自动控制。
5
.国产光控器(如9704型配套单色仪等)波长330870可调,精度可达到±1.5nm

手操器

带磁底座,可安置在真空室门及控柜任意位置。

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