学镀膜机配置有扇形多片夹具或拱形单工件盘，可镀制层数较多的短波通、长波通、减反射膜、滤光片等应用于光学镜头或光学仪器上的视窗玻璃或分光元件，利用人机界面触摸屏+PLC与全自动晶振膜厚仪构成全自动控制系统，可以实现参数录入、过程监控及数据存储等功能，可设定工艺流程并自动执行，使镀膜膜层重复性、光学性能稳定性有质的提高，解决了人工手动操作复杂性、膜层颜色、光学性能不一致等问题。
全自动光学镀膜设备参数说明
设备型号 | GXW-1600A | GX-900A | GX-1100A | GX-1200A | GX-13500A |
真空室尺寸 | 800×900 | 1050×1200 | 1100×1200 | 1200×1450 | 1350×1500 |
制膜种类 | 光学增透膜、减反射膜（AR）、宽带增透、单点增透、截止滤光片、七彩装饰功能膜等。 | ||||
工件夹具 | 拱型四片装夹、拱型单工件盘公转、三工件盘行星公自转、12轴公自转（卧式） | ||||
真空室结构 | 立式前开门、卧式前开门（304不绣钢）、后置真空系统 | ||||
真空系统 | 滑阀泵（旋片泵）＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷泵、深冷系统） | ||||
加热系统 | 发热管上加热方式，PID控制，最高温度350度 | ||||
工作气体系统 | 质量流量控制仪＋电磁阀 | ||||
电子枪 | 电子枪四圆形坩埚加一个U形坩埚，高压4KV-8KV可调，可自由选择三角波、正弦波、方波扫描电动定位。 | ||||
电阻蒸发源 | 2组电阻蒸发源 | ||||
离子源 | 功率2KW，阳极电流最大6A。双灯丝（自动切换）提高附着力、膜层密度、稳定折射率。（霍尔源） | ||||
晶振膜厚仪 | 由美国产晶振膜厚仪SQC-310与PLC构成全自动控制抽真空及电子束自动蒸发系统,实现设备的全自动控制 | ||||
极限真空 | 8×10－4pa（空载、净室） | ||||
抽气时间 | 空载大气抽至5×10－3pa小于15分钟 | ||||
控制方式 | 手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC | ||||
备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 | ||||
