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真空光学镀膜机、真空镀膜机、真空镀膜设备

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品牌: JIANENG佳能
型号: JN-GLD-1400
单价: 面议
起订: 1 套
供货总量: 50 套
发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
所在地: 全国
有效期至: 长期有效
最后更新: 2012-02-14 21:02
浏览次数: 1304
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公司基本资料信息






 
 
产品详细说明

   JN-GLD-1400真空光学镀膜机可镀制增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜截止、高反膜、彩色反射膜等各种膜系,能够实现0-99层膜的膜系镀膜,也能满足如汽车反光玻璃、望远镜、眼镜片、光学镜头、冷光杯等产品的镀膜要求,配置不同的蒸发源、电子枪和离子源及膜厚仪可镀多种膜系;对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀,并可在玻璃表面超硬镀膜。

 

 

JN-GLD系列真空光学(电子枪)镀膜机型号及技术参数

性能    型号

JN-GLD-900

JN-GLD-1200

JN-GLD-1350

镀膜室尺寸

Ф900×H1050mm

Ф1200×H1250mm

Ф1350×H1450mm

工装夹具

拱形单工件盘,更大限度满足客户对均匀性的需要,旋转5-30 r/min,无级变速

1.拱型单工件盘,满足客户对均匀性的要求,旋转530r/min,无级变速.          
2.拱型三工件盘,行星公自转,满足客户对生产量的要求,旋转5-30r/min,无级变速

真空系统

扩散泵KT-600(佳能),罗茨泵ZJ-300,机械泵2X-70,维持泵2X-8,管路为304不锈钢.

扩散泵KT-800(佳能),罗茨泵ZJ-600,机械泵2X-70,维持泵2X-8,管路为304不锈钢.

扩散泵KT-800(佳能),罗茨泵ZJ-600,机械泵2X-70,维持泵2X-15,管路为304不锈钢.

极限真空:优于6×10-4PA

配置防湍流装置,安全互锁设计,手动,自动可选

加热系统

发热管上加热方式,PID控制,最高350℃±1.5℃。

工作气体充气

气体质量控制仪或是手动微调充气阀

真空离子轰击

直流3KV,0.6KW棒状阴极(用于镀膜前自行对工件进行清洗)和气体离子源选配

蒸发源(选配)

1.电子枪:6KW、高压4KV-10KV可调。定位扫描、三角波扫描、圆形扫描、螺旋扫描、方波扫描、正弦波、束斑聚焦性好、定位精度高、扫描再现性好。

2.坩埚:六穴Φ38*20坩埚或四穴Φ38*20加一穴中心弧长87的弧形坩埚(用于耗量大低熔点蒸发材料)或穴Φ48*18坩埚。

离子源(选配)

1.5KVA霍两离子源:用于电镀前清洗或电镀过程进行辅助镀,有利于提高膜层折射率、牢固度、提高膜层致辞密性、附着力。

镀膜控制系统(选配)

1.晶控器:可储存1-99层自动镀膜过程,99种程序数据,精度0.5$+1A固定误差。

2.光控器:采用多波长的全光谱终点分析技术,通过对监控片370-870mm的透射率(或反射率)曲线分析来判定膜层,控制精度高;也可采用单波长控制,自动控制和手动控制。附加MACILEOD膜系计算软件,一体化程度高。

3.光控器配合晶控器能满足高精度,高重复性的镀膜要求,与上位机配合可以实现自动控制

4.国产光控器:波长330-870可调,精度可达到±1.5NM。

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