![]() 1.真空室全不锈钢结构，不生锈，使用寿命长。
2.多种尺寸真空腔体内径500-2500mm可选。
3.既有自产扩散泵，也有抽速更快、更易维护的涡轮分子泵、低温冷凝泵选配。
4.自产冷冻机，实现了Polycold的全国产化。
5.能量大、使用简单的考夫曼离子源的成熟应用。
6.多种工件盘、工件架包括公自转行星式以及夹具的设计生产能力。
7.晶控可选用多种型号包括SQC-310、MDC-360以及IC5、IC6.
8.光学膜厚控制系统有日本OPM-1200A以及更先进的英国Intellemetrics。
9.除了传统蒸发镀膜，我们还有磁控离子镀膜机的生产经验。 |
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