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![]() 2.多种尺寸真空腔体内径500-2500mm可选。 3.既有自产扩散泵,也有抽速更快、更易维护的涡轮分子泵、低温冷凝泵选配。 4.自产冷冻机,实现了Polycold的全国产化。 5.能量大、使用简单的考夫曼离子源的成熟应用。 6.多种工件盘、工件架包括公自转行星式以及夹具的设计生产能力。 7.晶控可选用多种型号包括SQC-310、MDC-360以及IC5、IC6. 8.光学膜厚控制系统有日本OPM-1200A以及更先进的英国Intellemetrics。 9.除了传统蒸发镀膜,我们还有磁控离子镀膜机的生产经验。 [详细介绍] |