供应多层光学镀膜机

型 号

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

镀膜室尺寸

Ф1050×1250，304不锈钢。

Ф800×1000

Ф900×1050

Ф1200×1250

镀膜腔内尺寸

工装夹具支架离地1680mm，适合人体工学的操作高度。

工装夹具支架离地1468mm，适合人体工学的操作高度。

工装夹具支架离地1510mm，适合人体工学的操作高度。

1.拱型单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转5-30r/min，无级变速。

  2.拱型三工件盘，行星公自转，更大限度满足客户对生产量的需要。旋转3-35r/min，无级变速。

工装夹具

供型四片装，支架倾角可调，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转3-35r/min，无级变速。

拱型单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转3-35r/min，无级变速。

拱型单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转3-35r/min，无级变速。

真空系统

机组：扩散泵KT-600(鼎益），罗茨泵ZJ-300，机械泵2X-70，维持泵2X-8。管路为304不锈钢。

机组：扩散泵KT-600（鼎益),罗茨泵ZJ-600,机械泵2X-70，维持泵2X-8。

机组：扩散泵KT-600（鼎益），罗茨泵ZJ-600,机械泵2X-70，维持泵2X-8。

机组：扩散泵KT-800（鼎益），罗茨泵ZJ-600,机械泵2X-70，维持泵2X-8。

极限真空：优于4×10^-4Pa。

配置防湍流装置，安全互锁设计，手动，自动可选。

加热系统

发热管上加热方式，PID控制，最高350℃±1.5℃。

工作气体充气

气体质量流量控制仪器或手动微调充气阀。

真空电离轰击

直流3KV,06KW棒状阴极（用于镀膜前进行自行对工件清洗）。

蒸发源（选配）

  1. TELEMARK-270°电子枪（进口），6KW、高压4KV-10KV可调。定位扫描、三角波扫描、圆形扫描、螺旋扫描。束斑聚焦性好、定位精度高，扫描再现性好。

  2.国产电子枪（奥普康）：6KW、高压4 KV～8KV可调，可自由选择三角波、正弦波、方波扫描。

  3.坩埚：六穴Φ38×20坩埚或四穴Φ38×20加一穴中心弧长87的弧形坩埚（用于耗量大低熔点蒸发材料）或四穴Φ48×18坩埚。

离子源（选配）

1. RF（射频型）离子源（进口）。

  2. 5KVA霍尔离子源（奥普康），用于电镀前清洗或电镀过程进行辅助镀，有利于提高膜层折射率，牢固度、提高膜层致密性、附着力。