真空蒸镀室：不锈钢制造，立式前开门，外壁通冷却水，内衬不锈钢防污板
真空系统：可选扩散泵系统、涡轮分子泵系统或低温泵系统
蒸发源：有电阻加热蒸发源或电子束蒸发源
工件烘烤：可选碘钨灯加热、电阻丝加热或管状加热器；方式有上往下烘烤或下往上烘烤
工转装置：有上驱动或下驱动机构；密封可采用普通或磁流体密封
工件架：可选球面帽形、扇形、行星式、翻转式、平面夹具等形式
光学膜厚控制系统：由光路、光源、单色仪、、光学膜厚监控仪、比较片机构等组成
晶体振荡膜厚控制系统：晶体膜厚监控仪、石英传感器等
充气系统：压力控制、气体质量流量控制
电气控制系统：大板结构、模块设计、进口器件；可靠性高、易操作、易维护
离子辅助镀：可选配国产或进口离子源提高成膜特性
