光学真空镀膜机

设备说明：

主要用于在玻璃镜片上镀制增透膜、分光膜、带通膜/截止膜、高反膜等各种膜系，能够实现100层膜的超大形膜系镀膜，也能满足在树脂上镀制各种颜色的增透膜，及在玻璃、亚克力、水晶等材质上镀制红、黄、蓝、绿、干邑、七彩等颜色的反光膜、装饰膜。

主要特点：

1、 配置超大坩埚电子枪，整个蒸发过程中膜料表面平整，蒸发分布均匀；

2、 配置石英晶体膜厚控制仪可实现成膜速度和镀膜过程的自动控制；

3、 配置大功率离子源，膜厚质量好；

4、 总统结构设计合理，更符合工艺要求，真空系统采用无油系统，可保证整个系统在无油状态下工作；

5、 真空操作系统实现互锁保护，扩撒泵有断水、断电报警功能。

6、 采用触摸屏和PLC自动控制，实现对整机主要部件的参数化设置、实时运行监控及故障智能诊断。

主要配置：

1、 真空室采用立式前开门箱形结构，全不锈钢箱体，内腔尺寸Φ800mm－Φ1800mm；

2、 真空系统采用分子泵（扩散泵），前级泵采用无油真空泵；

3、 采用一套水汽低温捕集器作为真空辅助抽气；

4、 工件架：拱形整体式工件盘，或可根据客户要求定制；

5、 镀膜系统：配1~2套大功率e型磁偏转2700电子枪及多穴位坩埚，辅助镀膜系统配霍尔离子源；

6、 烘烤：数显自动控温，温度控制精度±1.5℃；

7、 膜厚控制：石英晶体膜厚监控系统，可控制电子枪蒸发速率，精确控制膜层厚度，手动和自动控制实现方便切换；光学膜厚监控系统，透射或反射光路，监控波长范围200~900mm；

8、 控制系统：真空控制采用10.4吋彩色触摸屏加PLC可编程序控制器控制。

技术参数：