品说明:适合于在镜片上镀制宽带增透膜、分光膜、带通/截止滤光片、高反膜等多层光学膜。
新一代精密光学全自动镀膜机――AD系列全自动光学真空镀膜机技术特点:
◆采用基于Windows操作平台的OA2000控制系统(采用IPC+PLC+network技术,实现对整机主要部件的参数化设置、实时运行监控及故障智能诊断)
◆采用OFTM2000光学膜厚全自动监控系统(整合自动设计、工艺读入、参数设置、实时监控等功能,实现整个镀膜过程的全自动控制)
◆采用Inficon或Maxtek石英晶体膜厚监测系统(实现镀膜过程蒸发速率的恒定)
◆采用新一代大容量智能化e型电子枪,适合稳定镀制多达数十层甚至过百层的膜层(带智能编程电子束扫描单元、坩埚精确定位单元及可移动枪体机械单元等模块)
◆采用先进的大功率宽束离子源(达到进一步改善膜层质量的目的)
◆采用Leybold/ Edwards真空机组+Polycold低温捕集系统(保证高效率及高稳定性的真空特性)