英福康SQC-310石英晶体膜厚控制仪(晶控仪)

SQC310石英晶体膜厚控制仪系列为您提供其它生产厂薄膜控制仪所没有的性能与特色。同时可为您的应用选择理想的模式：顺序镀膜（SQC310）或共镀膜（SQC310C）。用于顺序镀膜，SQC310石英晶体膜厚控制仪装备有2个传感器输入，2个源输出，和8个数字输入／输出，提供为这些数量加倍的扩展插件板选件用于共镀膜，SQC310石英晶体膜厚控制仪监测多至4个石英晶体传感器，带有4个PID控制输出，16个数字输入，和16个继电器输出，与SQC310的规范相同。

　　■高亮度，VGA活性点阵彩色LCD显示器–可显示英文或中文。


　　■标准RS-232和USB（有以太网选件）。

　　■易设置和操作，有“快速设置”菜单，6个上下文-敏感的按钮，和方便的参数设定旋钮。

　　■Window程序用于开发，测试，和下载工艺过程，和将仪器数据记录至您的PC上，用于过程分析与质量控制。

　　■精确的过程控制，尤其用于低淀积率，在10读值／秒时的分辨率为±0.03Hz，在0至50°C温度范围内的频率稳定性为±2ppm。

　　■贮存容量高至100个工艺过程，1，000个膜层，50个膜系。

　　■用单传感器或多传感器监测源材料，提供精确的源分布监测。

    SqC310    SqC310C
measurement
QCM Inputs      2 (4 optional)    4
Frequency Range       4 to 6 MHz
Frequency Resolution       ± 0.03 Hz at 0.10 sec measurement period
Frequency Stability       ± 2 ppm total, 0 to 50C
Measurement Rate       1 to 10 Hz
Rate Display       0.01 Å/sec
Control
Storage        100 processes, 1000 layers, 50 films
Control Outputs    2 (4 optional)    4
Output Signal       ± 0 to 10 VDC, 15 bits
Digital Inputs/Relays   8 (16 optional)    16
Digital Inputs       5 VDC non-isolated
Relays         SPST Form 1A, 30V, 2A max
Interface(s)         RS-232 and USB (Ethernet optional)
Remote Power Control       Optional
display
Type     
1
/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
Graphs         Rate, deviation, power or full screen numeric
General
Power         100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
Compliance       CE
Windows®
 Software       Included
Housing / Mounting     5 1
/4” half-rack