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黑棕色至黄土色无定形粉末，白色立方晶体；熔点＞1702°C，沸点1880°C，密度2.13克/厘米。溶于稀氢氟酸和硝酸的混酸。不溶于水。在空气中加热时生成白色的二氧化硅粉末。一氧化硅不太稳定，在空气中会氧化成二氧化硅；易溶于强碱溶液，生成硅酸盐并放出氢气。当一氧化硅蒸气缓慢冷凝时会歧化而成硅和二氧化硅。一氧化硅能溶于氢氟酸和硝酸的混合酸中并放出四氟化硅。
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