广泛应用于精密光学,MEMS器件,半导体,微电子,装饰薄膜,硬质薄膜等领域
ü 无栅极、无污染、适用反应气体
ü 能量调节范围宽
ü 无灯丝、无需特别维护
ü 将成为离子束辅助主流产品
ü 等离子体中性较好
