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主要应用领域: 光学,微电子学,显示屏,光电工程,生物医学工程等行业.
Pfeiffer 镀膜机主要型号包含:
Pfeiffer Classic 250 镀膜机(低成本实验室系统,用于开发研究)
Pfeiffer Classic 500 镀膜机(最受欢迎的镀膜机,用于系统研究、开发和批量生产)
Pfeiffer Classic 570 镀膜机 (紧凑设计适合工业使用)
Pfeiffer Classic 580 镀膜机 (通用的制造系统,满足最高工业需求)
Pfeiffer Classic 590 镀膜机 (高吞吐量,通用的制造系统,满足最高工业需求)
Pfeiffer Classic 620 镀膜机 (最大吞吐量)
pfeiffer 镀膜机主要优势:
可搭配多种泵组(涡轮分子泵、低温泵或油扩散泵)
pfeiffer 镀膜机真空腔体可冷却可加热,极限真空度最高可达 < 5 · 10-7 mbar,腔体漏率 < 1 · 10-5 mbar l/s
真空腔体大小 35 至 1300 l(特殊尺寸可定制)
镀膜机各种尺寸大小,根据实际应用和气体吞吐量决定
内置各种标准配件,坚固耐用满足严苛工业环境
低运营成本,易维护,兼容洁净室
通过附加配件升级镀膜机功能
pfeiffer 镀膜机所有真空腔体均是不锈钢材质
pfeiffer 镀膜机工艺:
pfeiffer 镀膜机 蒸镀过程优势:
抗反射涂层
耐划伤性涂料
激光面镜
接触金属化
合金的沉积(Co-evaporation)
pfeiffer 镀膜机 磁控溅射介绍:
除了高真空蒸镀系统，伯东公司德国普发pfeiffer 也提供磁控溅射腔体可选load-lock.相应型号Classic 250 to 570,有标准版本供选择或根据溅射过程选择(SP)定制版本
可用于：
金属层(金、铜、铝、铬、…)
电介质层(二氧化硅,氧化铝,…)
透明导电层(ITO
磁层
合金的沉积(co-sputtering)
伯东公司协助客户选型并提供完善的售后服务,我司将竭诚为您服务！
伯东企业（上海）有限公司是德国普发授权代理商。伯东真空主营产品德国 Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵;应用于各种条件下的真空测量(真空计,真空规管); 氦质谱检漏仪；质谱分析仪,真空镀膜机；真空系统以及HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机. CTI 低温泵和美国KRI 离子源.Gamma离子泵。离子刻蚀机,
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