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CDA-0808G |
CDA-1010G |
CDA-1212G |
CDA-1414G |
CDA-1515G |
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?????(mm) |
Φ800×800 |
Φ1000×1000 |
Φ1250×1250 |
Φ1400×1400 |
Φ1500×1500 |
Φ1600×1600 |
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CDA450 — 2200 P?????????
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???? | CDA450————CDA2200P |
????? | ?450mm————2200mm |
????? | 500mm————2400mm |
???? | ??????????? |
???? | ????????? ?? 105---10-5 Pa |
???? | ???????? |
???? | ????MFC???????????????? ???? |
???? | PID????????? |
???? | 6?—16????????????? |
???? | 1×10-3 Pa |
???? | ?????????? |
???? | 20KW————120KW |
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