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阳极膜等离子体源

2012-04-27 14:2210310询价
价格:未填
品牌:镨玛科技
发货:3天内

广泛应用于精密光学,MEMS器件,半导体,微电子,装饰薄膜,硬质薄膜等领域

ü  无栅极、无污染、适用反应气体

ü  能量调节范围宽

ü  无灯丝、无需特别维护

ü  将成为离子束辅助主流产品

ü  等离子体中性较好

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