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霍尔等离子体源图1霍尔等离子体源图2

霍尔等离子体源

2012-04-27 14:2912770询价
价格:未填
品牌:镨玛科技
型号:4A、8A、10A、15A、
发货:3天内

用 途:

 

 


 + 增透膜

 + 眼镜镀膜

 + 光纤光学

 + 高反镜

 + 热/冷反光镜

 + 低漂移滤波器

 + 带通滤波器

 + 在线清洗

 + 类金刚石沉积

作 用:
+ 改善薄膜的生长、优化薄膜结构

+ 增加镀膜的一致性和重复性

+ 低温高速率镀膜

+ 清除工件表面水和碳氢化合物

+ 增加薄膜密度

+ 降低内应力低

+ 清除结合力弱的分子

+ 反应气体活度增加

+ 薄膜成分易于控制
特 点:
+ 结构先进

+ 工作稳定

+ 耐高温环境

+ 适用反应气体

+ 等离子体束流大

+ 均匀性强/能量可调

+ 样品悬浮电位显示

+ 安装简便/运行成本低

+ 维护操作简单

技术指标:

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