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状态： 2009年产—2009年停用
品牌： 四川成都南光真空机械—304不锈钢
尺寸： 1100MM*1250MM,转架尺寸：单拱片型行星公转
配置：KT—500扩散泵2台、ZJY—300阳光罗茨泵、2X—70A南光产真空泵、2X—30A南光维持泵
5KVA变压器双组电阻蒸发、2KW霍尔离子源。
电子枪：360°偏转E型6KW双电子枪、高压4KV-8KV可调/可自选三角波、正弦波、方波扫描定位
离子清洗：2KW霍尔离子源，双灯丝、阳极电流最大6A—可清洗和辅助镀膜，提高附着力、膜层密度、
稳定折射率。
气体控制：质量流量控制仪＋电磁阀， 真空压强控制仪（压电阀）控制真空度。
膜厚控制：美国产晶振膜厚仪SQC-360与PLC构成全自动控制镀膜过程
烘烤方式：真空室转架上置加热管烘烤，PID控制，最高温度350度
工艺控制：PLC触摸屏全自动控制抽真空和电子束自动蒸发系统,实现设备镀膜工艺过程一键式控制，可根
工艺要求，自定义设置保存1—99种镀膜工艺 参数。
功率：23.5KW抽气机组，2KW离子源清洗，6KVA电子束蒸发。
适用范围：功能膜（光学增透膜、减反射膜（AR）、宽带增透、单点增透、截止滤光片)应用于光学镜头
或光学仪器上的视窗玻璃或分光元件。
装饰膜:如亚克力钻、片材、玻璃、水钻、树脂钻幻彩、红五彩、红、黄、绿、蓝等七彩装饰膜。
（现在设备空载状态:从大气抽至7.6X10-3pa，6分钟左右）——
可包安装调试好！图片和介绍仅供参考，详情至电13566327806唐
电子束控制系统：
真空控制系统：
美国晶振膜厚仪SQC-360：
电子束高压电源：
360°偏转E型双电子枪、高压4KV-8KV可调/可自选三角波、正弦波、方波扫描定位：
