规格:1800*1500 材质:全304#不锈钢,抽气系统配制:2台KT-800沈阳产扩散泵,1台ZJ-1200罗茨泵,2台-2X-70A旋片真空泵,2X-30维持泵,
控制系统配制:全自动控制,配备2套电阻式蒸发,2套霍尔离子源,一套大功率电子枪,配备先进的晶控测厚仪,可调波形全自动扫描仪...
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