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状态： 2010年产—2011年5月（可现场试机）
品牌： 广东华泰—304不锈钢
尺寸： 1800MM*1400MM,转架尺寸：行星公自转360MM*1100MM*12轴
配置：KT—800扩散泵2台、ZJY—1200阳光罗茨泵、H_150真空泵、2X—30A南光维持泵
10KVA变压器双组电阻蒸发、2KW霍尔离子源。
电子枪：360°偏转大型E型10KW电子枪、高压4KV-8KV可调/可自选三角波、正弦波、方波扫描定位
离子清洗：2KW霍尔离子源，双灯丝、阳极电流最大6A—可清洗和辅助镀膜，提高附着力、膜层密度、
稳定折射率。
气体控制：质量流量控制仪＋电磁阀， 真空压强控制仪（压电阀）控制真空度。
膜厚控制：美国产晶振膜厚仪SQC-310与PLC构成全自动控制镀膜过程
烘烤方式：真空室两侧壁上加热管烘烤，PID控制，最高温度350度
工艺控制：PLC触摸屏全自动控制抽真空和电子束自动蒸发系统,实现设备镀膜工艺过程一键式控制，可根
工艺要求，自定义设置镀膜工艺 参数。
功率：48.5KW抽气机组，2KW离子源清洗，10KVA电子束蒸发。
适用范围：功能膜（光学增透膜、减反射膜（AR）、宽带增透、单点增透、截止滤光片)应用于光学镜头
或光学仪器上的视窗玻璃或分光元件。
装饰膜:如亚克力钻、片材、玻璃、水钻、树脂钻幻彩、红五彩、红、黄、绿、蓝等七彩装饰膜。
（现在设备空载状态:从大气抽至8.0X10-3pa，7分钟左右）——
可包安装调试好！图片和介绍仅供参考，详情至电13566327806唐
后置真空系统，双KT-800扩散泵：
阳光罗茨泵：
H—150滑阀真空泵：
霍尔离子源：双灯丝、可清洗和辅助镀膜，提高附着力、膜层密度、 稳定折射率：
霍尔离子源电源：
PLC触摸屏显示器：
烘烤加热电流表：
晶振膜厚仪SQC-310：
